i-line光刻機(jī)項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。招標(biāo)項(xiàng)目資金已落實(shí)。中科信工程咨詢（北京） （招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)）受中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所（招標(biāo)人）的委托，對該項(xiàng)目進(jìn)行國際公開招標(biāo)采購。

1. 招標(biāo)范圍

1.1 貨物名稱：i-line光刻機(jī)

1.2 招標(biāo)編號：招標(biāo)編號：0779-25400341A052

1.3 項(xiàng)目概況：

i-line光刻機(jī)用于量子傳感、硅光等芯片微結(jié)構(gòu)制造過程中的對準(zhǔn)曝光工藝。利用光化學(xué)反應(yīng)原理把事先制備在掩模版上的圖形轉(zhuǎn)印到晶圓表面涂覆的光刻膠上，再使用選擇性的刻蝕再轉(zhuǎn)印到襯底（晶圓）上，并最終形成傳感芯片所需的三維結(jié)構(gòu)。i-line光刻機(jī)由i-line光刻機(jī)、光刻機(jī)隔震臺組件等組成。更多指標(biāo)詳見第八章技術(shù)規(guī)格。

主要技術(shù)指標(biāo)：

   適用于6英寸和8英寸晶圓；

   設(shè)備傳片方式：機(jī)械手全自動(dòng)傳片；

   最小分辨率≤1um；

   支持全自動(dòng)對準(zhǔn)，且具備正面/背面和紅外對準(zhǔn)功能；

   對準(zhǔn)精度:正對準(zhǔn)≤0.5um；背對準(zhǔn)≤1um；紅外對準(zhǔn)精度≤1.5um；

更多技術(shù)指標(biāo)詳見第八章。

1.4 數(shù)量：1套。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個(gè)月內(nèi)交貨。

1.6 項(xiàng)目現(xiàn)場：中國航空工業(yè)集團(tuán)公司西安飛行自動(dòng)控制研究所指定地點(diǎn)。。

2. 對投標(biāo)人的資格要求

2.1 投標(biāo)人必須是響應(yīng)招標(biāo)的法人或其他組織，具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力。

2.2本次招標(biāo)接受代理商投標(biāo)，代理商必須獲得制造商的合法授權(quán)，提供制造商授權(quán)書。授權(quán)書包括制造商直接開具的；或制造商的獨(dú)資公司開具的（同時(shí)須提供制造商與獨(dú)資子公司的關(guān)系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項(xiàng)目不接受聯(lián)合體投標(biāo)。

2.4投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)

3. 招標(biāo)文件獲取

3.1 如有疑問，請致電中航工業(yè) 服務(wù)熱線400-890-0880。

3.2 招標(biāo)文件售價(jià)人民幣800元或112美元，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標(biāo)文件費(fèi)用，支付后請自行提交電子發(fā)票申請(需再次進(jìn)入鏈接點(diǎn)擊消費(fèi)記錄后填寫開票信息)，電子發(fā)票將自動(dòng)發(fā) 潛在投標(biāo)人將付款憑證（形式不限）和發(fā)票上傳交易平臺，經(jīng)招標(biāo)人(代理機(jī)構(gòu))確認(rèn)后，才能獲得招標(biāo)文件的下載權(quán)限。

3.3 投標(biāo)人必須在中航工業(yè) 注冊，辦理CA數(shù)字證書與電子簽章，否則無法投標(biāo)。（詳見中航工業(yè) 相關(guān)說明）。

4.

未在中國電力招標(biāo)采購網(wǎng)（www.gl880.com）上注冊會員的單位應(yīng)先點(diǎn)擊注冊。登錄成功后的在招標(biāo)會員區(qū)根據(jù)招標(biāo)公告的相應(yīng)說明獲取招標(biāo)文件！
咨詢電話：010-51957458
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編輯：365trade