超高真空全自動常溫鍵合機項目已具備招標條件，招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：超高真空全自動常溫鍵合機

1.2 招標編號：0779-25400341A049

1.3項目概況：

超高真空全自動常溫鍵合機用于量子傳感、硅光、MEMS等芯片的晶圓級密封封裝工藝，在超高真空環境中利用高速氬原子或離子轟擊晶圓，除去表面氧化膜及污染物，再施加一定壓力，使兩個表面在超高真空環境中緊密接觸，形成化學鍵，實現原子尺度上的牢固結合，在室溫下實現良好的鍵合，無需后續退火，消除熱膨脹系數不匹配造成的熱應力問題；更多指標詳見第八章技術規格。

關鍵技術參數：

適用于6英寸晶圓，并可擴展至8英寸；

Mark鍵合對準精度：≤±2μm；

鍵合模塊壓力：最大100kN；

更多技術指標詳見第八章。

1.4 數量：1臺。

1.5 交貨期：合同簽訂生效后10個月內交貨。

1.6 項目現場：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 如有疑問，請致電中航工業 服務熱線400-890-0880。

3.2 招標文件售價人民幣800元或112美元，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發票將自動發 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。

3.3 投標人必須在中航工業 注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業 相關說明）。

4.

未在中國電力招標采購網（www.gl880.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在招標會員區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網
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編輯：365trade