1. 招標條件
本招標項目in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng) 該項目已具備招標條件，現對in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)進行國內公開招標。
2. 項目概況與招標范圍
2.1 招標編號：ZKX20250341A054
2.2 招標項目名稱：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)
2.3 數量：1套
2.4 設備用途及系統(tǒng)組成：
設備用途：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)主要應用于量子傳感、硅光等芯片的微納結構制造過程中的光刻工藝，通過和深紫外光刻機在線聯(lián)機，完成光刻膠旋涂合烘烤后，將晶圓直接傳送到光刻機進行曝光，再傳送回該系統(tǒng)完成顯影，達到最終將掩模版上的圖形轉印至光刻膠上的目的。
系統(tǒng)組成：in-line深紫外涂膠顯影系統(tǒng)系統(tǒng)主要由上下料單元、傳輸單元和涂膠顯影單元等組成。
2.5 交貨地點：中國航空工業(yè)集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。
2.6 交貨期：合同簽訂后6個月內到貨。
3. 投標人資格要求：
3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標不接受聯(lián)合體投標。
3.3 本次招標接受代理商投標。一個制造商對同一品牌同一型號的設備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商針對本項目（帶本項目招標編號）的授權書（原件）。
3.4 財務要求：投標人應附2024年經會計師事務所或審計機構審計的財務會計報表，包括審計報告正文、資產負債表、現金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規(guī)定年份的，應提供成立以來的財務報表。投標人為科研院所、高等院校等事業(yè)單位的可提供經審計的或單位內審的2024年財務報表。
3.5 業(yè)績要求：投標廠商2022年至今有交付的in-line深紫外涂膠顯影類設備3個以上（含3個）的成功案例，且提供有效的合同復印件、合同復印件對應的發(fā)票復印件或驗收報告或收款證明等項文件；
3.6 信譽要求：投標人在經營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺的查詢結果）或信譽承諾書。
3.7 投標人必須向招標代理機構
