投標邀請

金屬膜及介質膜干法刻蝕系統項目已具備招標條件。招標項目資金已落實。中科信工程咨詢（北京） （招標代理機構）受中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所（招標人）的委托，對該項目進行國際公開招標采購。

1. 招標范圍

1.1 貨物名稱：金屬膜及介質膜干法刻蝕系統

1.2 招標編號：0779-25400341A051

1.3項目概況：

本次金屬及介質膜干法刻蝕系統設備招標采購旨采滿足科研生產需求，其包含全自動綜合反應離子刻蝕機1臺和金屬膜干法刻蝕機1臺，其中全自動綜合反應離子刻蝕機包含SiO2工藝腔和LN工藝腔各1個，金屬膜干法刻蝕機包含金屬工藝腔1個、去膠工藝腔1個。更多指標詳見第八章技術規格。

金屬及介質膜干法刻蝕系統主要技術指標如下：

1. SiO2工藝腔：刻蝕速率≥200nm/min（SiO2）；選擇比≥1.5(SiO2：PR)；側壁傾角≥80°（要求PR側壁傾角≥80°）；片內均勻性≤3%；深寬比≥3:1（SiO2，2um線寬）；

2. LN工藝腔：刻蝕速率≥50nm/min；選擇比≥0.5(LN：PR)；側壁傾角≥75°（要求PR側壁傾角≥80°）；片內均勻性≤5%；

3. 金屬工藝腔：刻蝕速率≥400nm/min（Al）；選擇比≥2(Al：PR)；側壁傾角≥80°；片內均勻性≤5%；

4. 去膠腔：去膠速率≥500nm/min；片內均勻性≤10%；片間均勻性≤3%；

1.4 數量：1套。

1.5 交貨期：合同簽訂后8個月內到貨。

1.6 項目現場：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2. 對投標人的資格要求

2.1 投標人必須是響應招標的法人或其他組織，具有獨立承擔民事責任能力。

2.2本次招標接受代理商投標，代理商必須獲得制造商的合法授權，提供制造商授權書。授權書包括制造商直接開具的；或制造商的獨資公司開具的（同時須提供制造商與獨資子公司的關系說明，并由雙方簽字或者蓋章）。

2.3本項目不接受聯合體投標。

2.4投標人必須向招標代理機構

3. 招標文件獲取

3.1 潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。

3.3 投標人必須在中航工業電子采購平臺注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業電子采購平臺相關說明）。

4.
未在中國電力招標采購網（www.gl880.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后的在 招標會員 區根據招標公告的相應說明獲取招標文件！
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來源：中國電力招標采購網
備注：欲購買招標文件的潛在投標人,注冊網站并繳納因特網技術及商務信息服務費后，查看項目業主，招標公告并下載資格預審范圍，資質要求，
招標清單，報名申請表等。為保證您能夠順利投標，具體要求及購買標書操作流程按會員區招標信息詳細內容為準。
編輯：ebid.eavic