1. 招標條件

本招標項目in-line深紫外涂膠顯影系統系統招標人為中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所，招標項目資金已落實。該項目已具備招標條件，現對in-line深紫外涂膠顯影系統系統進行國內公開招標。

2. 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號：ZKX20250341A054

2.2 招標項目名稱：in-line深紫外涂膠顯影系統

2.3 數量：1套

2.4 設備用途及系統組成：

設備用途：in-line深紫外涂膠顯影系統主要應用于量子傳感、硅光等芯片的微納結構制造過程中的光刻工藝，通過和深紫外光刻機在線聯機，完成光刻膠旋涂合烘烤后，將晶圓直接傳送到光刻機進行曝光，再傳送回該系統完成顯影，達到最終將掩模版上的圖形轉印至光刻膠上的目的。

系統組成：in-line深紫外涂膠顯影系統系統主要由上下料單元、傳輸單元和涂膠顯影單元等組成。

2.5 交貨地點：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所指定地點。

2.6 交貨期：合同簽訂后6個月內到貨。

3. 投標人資格要求：

3.1 投標人須具有獨立承擔民事責任能力的在中華人民共和國境內注冊的法人或其他組織，具備有效的營業執照或事業單位法人證書或其它營業登記證書。

3.2 本次招標不接受聯合體投標。

3.3 本次招標接受代理商投標。一個制造商對同一品牌同一型號的設備，僅能委托一個代理商參加投標。提供制造商針對本項目（帶本項目招標編號）的授權書（原件）。

3.4 財務要求：投標人應附2024年經會計師事務所或審計機構審計的財務會計報表，包括審計報告正文、資產負債表、現金流量表、利潤表的復印件。投標人的成立時間少于上述規定年份的，應提供成立以來的財務報表。投標人為科研院所、高等院校等事業單位的可提供經審計的或單位內審的2024年財務報表。

3.5 業績要求：投標廠商2022年至今有交付的in-line深紫外涂膠顯影類設備3個以上（含3個）的成功案例，且提供有效的合同復印件、合同復印件對應的發票復印件或驗收報告或收款證明等項文件；

3.6 信譽要求：投標人在經營活動中，無嚴重違法失信記錄，具有良好的信譽。提供相關證明材料（如信用中國或各級信用信息共享平臺的查詢結果）或信譽承諾書。

3.7 投標人必須向招標代理機構購買招標文件并進行登記才具有投標資格。

4. 招標文件的獲取

4.1凡有意參加投標者，請于2025年11月6日至2025年11月13日17時(北京時間)，登錄中航工業電子采購平臺（http://www.eavic.com）上傳匯款底單和下載招標文件,現場不予受理。如有疑問，請致電中航工業電子采購平臺服務熱線400-890-0880。

4.2 招標文件售賣

每套招標文件售價人民幣 800 元整，售后款項不予退還。潛在投標人應通過本鏈接:https://jskp.jss.com.cn/k.action?kpdm=5QCPZT&jh=888支付招標文件費用，支付后請自行提交電子發票申請(需再次進入鏈接點擊消費記錄后填寫開票信息)，電子發票將自動發送至申請時所填郵箱。潛在投標人將付款憑證（形式不限）和發票上傳交易平臺，經招標人(代理機構)確認后，才能獲得招標文件的下載權限。

4.3 投標人必須在中航工業電子采購平臺注冊，辦理CA數字證書與電子簽章，否則無法投標。（詳見中航工業電子采購平臺相關說明）。

5. 投標文件的遞交

5.1投標文件遞交的截止時間（投標截止時間，下同）為2025年11月28日9時00分（北京時間），投標人應在截止時間前通過中航工業電子采購平臺（http://www.eavic.com）上傳加密的電子版投標文件，并在此時間前遞交單獨密封的紙質版投標文件至陜西省西安市高新區錦業一路19號西安亞丁灣羽安酒店會議室。

5.2逾期送達的投標文件，電子招標投標交易平臺將予以拒收。

6. 發布公告的媒介

本次招標公告同時在中招聯合招標采購平臺和中國招標投標公共服務平臺和中航工業電子采購平臺上發布。

7. 聯系方式

招標人：中國航空工業集團公司西安飛行自動控制研究所

地址：陜西省西安市高新區錦業路129號

聯系人：任經理

電話：029-61886363

招標代理機構：中科信工程咨詢（北京）有限責任公司

地址：北京市海淀區金溝河路與采石北路十字路口東南角88號大樓

郵編： 100039

聯系人：郗女士

電話：029-89249895

項目負責人：王瑋

電話：029-89248691、029-89248368

傳真：010-88529153

電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com

2025年11月6日