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項目名稱：北京懷柔實驗室SOC 2025年第二批機電設備采購項目

招標項目編號：1495-254thhrlab03

招標范圍：磁控濺射儀作為核心工藝裝備，將支撐超順磁TMR材料的關鍵功能層制備與膜堆結構調控，需具備單濺射腔多靶位高精度切換能力（≥12個靶位）、優異的膜厚均勻性（≤1%，1sigma）、超高薄膜沉積精度（0.01nm），優于10-8 Torr的極限真空度、穩定的射頻與直流濺射源、可控的成分調配系統以及低粒子污染的沉積環境，以實現膜層結構的高一致性與批次重復性，為高精度傳感芯片的大規模開發和薄膜工藝優化提供堅實支撐。

招標機構：天恒招標有限公司

招標人：北京懷柔實驗室

開標時間：2025-10-11 09:30

公示開始時間：2025-10-13 11:48

評標公示截止時間：2025-10-16 17:00

中標候選人名單：