招標(biāo)公告
本招標(biāo)項(xiàng)目等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)、硅基等離子體刻蝕機(jī)、InP基等離子體刻蝕機(jī)、GaAs基等離子體刻蝕機(jī)招標(biāo)人為華中光電技術(shù)研究所（武漢），招標(biāo)項(xiàng)目資金來自國撥資金，出資比例為100%。該項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件，現(xiàn)對(duì)等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)、硅基等離子體刻蝕機(jī)、InP基等離子體刻蝕機(jī)、GaAs基等離子體刻蝕機(jī)進(jìn)行國內(nèi)公開招標(biāo)。
2. 項(xiàng)目概況與招標(biāo)范圍
2.1 招標(biāo)編號(hào)：ZKX20250631A002
2.2招標(biāo)項(xiàng)目名稱：等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)、硅基等離子體刻蝕機(jī)、InP基等離子體刻蝕機(jī)、GaAs基等離子體刻蝕機(jī)
2.3 數(shù)量：
等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng) 1臺(tái)
硅基等離子體刻蝕機(jī) 1臺(tái)
InP基等離子體刻蝕機(jī) 1臺(tái)
GaAs基等離子體刻蝕機(jī) 1臺(tái)
2.4 設(shè)備用途：
1）等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)：等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)主要借助微波或射頻源使含有薄膜組成原子的氣體在局部形成等離子體，利用等離子體的強(qiáng)化學(xué)活性發(fā)生反應(yīng)，從而在基片上沉積出預(yù)期的薄膜，具有基本溫度低、沉積速率快、成膜質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn)。本儀器可沉積氧化硅、氮化硅等材料，能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)沉積厚度的精確控制，還可以通過改變反應(yīng)氣體組分在一定范圍內(nèi)調(diào)節(jié)沉積薄膜的折射率，可應(yīng)用于微納結(jié)構(gòu)中的抗腐蝕層、微納電子器件中的絕緣層、波導(dǎo)結(jié)構(gòu)等。
2）硅基等離子體刻蝕機(jī)：等離子體刻蝕機(jī)用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行干法刻蝕微納加工，從而制作出設(shè)計(jì)好的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)圖案。其刻蝕過程是化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊過程所共同作用的結(jié)果，其內(nèi)部包括兩套射頻電源，其中一套與腔室外纏繞的螺線圈相連，使線圈產(chǎn)生感應(yīng)耦合電場，腔室內(nèi)的刻蝕氣體在此電場作用下輝光放電產(chǎn)生高密度等離子體；另一套與腔室內(nèi)放置石英平臺(tái)和樣品的下方電極相連，用于產(chǎn)生偏置電壓，對(duì)等離子體進(jìn)行加速使其定向作用于樣片表面，并將發(fā)生化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性的氣體，經(jīng)過排氣口排出，完成樣片刻蝕。等離子體刻蝕機(jī)對(duì)晶圓芯片結(jié)構(gòu)加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的優(yōu)點(diǎn)。硅基等離子體刻蝕機(jī)將用于硅光芯片研制過程中刻蝕光波導(dǎo)和光柵等結(jié)構(gòu)。
3）InP基等離子體刻蝕機(jī)：等離子體刻蝕機(jī)用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行干法刻蝕微納加工，從而制作出設(shè)計(jì)好的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)圖案。其刻蝕過程是化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊過程所共同作用的結(jié)果，其內(nèi)部包括兩套射頻電源，其中一套與腔室外纏繞的螺線圈相連，使線圈產(chǎn)生感應(yīng)耦合電場，腔室內(nèi)的刻蝕氣體在此電場作用下輝光放電產(chǎn)生高密度等離子體；另一套與腔室內(nèi)放置石英平臺(tái)和樣品的下方電極相連，用于產(chǎn)生偏置電壓，對(duì)等離子體進(jìn)行加速使其定向作用于樣片表面，并將發(fā)生化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性的氣體，經(jīng)過排氣口排出，完成樣片刻蝕。等離子體刻蝕機(jī)對(duì)晶圓芯片結(jié)構(gòu)加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的優(yōu)點(diǎn)。InP基等離子體刻蝕機(jī)將用于InP基半導(dǎo)體激光器芯片研制過程中刻蝕光波導(dǎo)和光柵等結(jié)構(gòu)。
4）GaAs基等離子體刻蝕機(jī)：等離子體刻蝕機(jī)用于對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行干法刻蝕微納加工，從而制作出設(shè)計(jì)好的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)圖案。其刻蝕過程是化學(xué)反應(yīng)和物理轟擊過程所共同作用的結(jié)果，其內(nèi)部包括兩套射頻電源，其中一套與腔室外纏繞的螺線圈相連，使線圈產(chǎn)生感應(yīng)耦合電場，腔室內(nèi)的刻蝕氣體在此電場作用下輝光放電產(chǎn)生高密度等離子體；另一套與腔室內(nèi)放置石英平臺(tái)和樣品的下方電極相連，用于產(chǎn)生偏置電壓，對(duì)等離子體進(jìn)行加速使其定向作用于樣片表面，并將發(fā)生化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生揮發(fā)性的氣體，經(jīng)過排氣口排出，完成樣片刻蝕。等離子體刻蝕機(jī)對(duì)晶圓芯片結(jié)構(gòu)加工具有速率快、精度高、表面粗糙度小的優(yōu)點(diǎn)。GaAs基等離子體刻蝕機(jī)將用于GaAs基半導(dǎo)體激光器芯片研制過程中刻蝕光波導(dǎo)和光柵等結(jié)構(gòu)。
2.5 交貨地點(diǎn)：湖北武漢項(xiàng)目現(xiàn)場。
2.6 交貨期：合同簽訂后10個(gè)月內(nèi)。
3.投標(biāo)人資格要求
3.1 投標(biāo)人須具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任能力的在中華人民共和國境內(nèi)注冊(cè)的法人或其他組織，具備有效的營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書或其它營業(yè)登記證書。
3.2 本次招標(biāo)不接受聯(lián)合體投標(biāo)。
3.3 本次招標(biāo)不接受代理商投標(biāo)。
3.4 投標(biāo)人2022年1月1日至開標(biāo)前一日（以合同簽訂時(shí)間為準(zhǔn)）具有等離子增強(qiáng)氣相沉積系統(tǒng)、等離子體刻蝕機(jī)的同類型產(chǎn)品業(yè)績：
（1）上述2種產(chǎn)品均須提供同類型產(chǎn)品業(yè)績；
（2）每種產(chǎn)品須提供至少15份業(yè)績合同（同一業(yè)績中可同時(shí)包含上述兩種產(chǎn)品），業(yè)績均須附供貨合同必要部分（須包含合同首頁及蓋章頁或者簽署頁，合同中須有標(biāo)的物名稱，且有明確的簽訂時(shí)間）。
3.5 信譽(yù)要求：未被列入″信用中國”（www.creditchina.gov.cn）網(wǎng)站″記錄嚴(yán)重失信主體名單，須提供上述網(wǎng)站截圖證明或提供承諾書。
3.6投標(biāo)人必須向招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)購買招標(biāo)文件并進(jìn)行登記才具有投標(biāo)資格。
4.招標(biāo)文件的獲取
4.1 凡有意參加投標(biāo)者，請(qǐng)于2025年8月28日至2025年9月4日17時(shí)(北京時(shí)間)，登錄（https:///）報(bào)名參與項(xiàng)目,需要下載費(fèi)500元（下載費(fèi)發(fā)票聯(lián)系平臺(tái)開具），現(xiàn)場不予受理。如有疑問，請(qǐng)致電服務(wù)熱線4009280095轉(zhuǎn)1。
4.2招標(biāo)文件售賣
每套招標(biāo)文件售價(jià)人民幣 800 元整，售后款項(xiàng)不予退還。潛在投標(biāo)人應(yīng)通過本鏈接:http://www.gl880.com/file/upload/zbwj/sgcc/28204954.html>
4.3 投標(biāo)人必須在注冊(cè)，否則無法投標(biāo)。（詳見相關(guān)說明）。
5.1投標(biāo)文件遞交的截止時(shí)間（投標(biāo)截止時(shí)間，下同）為2025年9月19日9時(shí)30分，地點(diǎn)為北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓一層會(huì)議室。
5.2逾期送達(dá)的、未送達(dá)指定地點(diǎn)的或者不按照招標(biāo)文件要求密封的投標(biāo)文件，招標(biāo)人將予以拒收。
6.發(fā)布公告的媒介
本次招標(biāo)公告同時(shí)在中招聯(lián)合招標(biāo)采購平臺(tái)、和中國招標(biāo)投標(biāo)公共服務(wù)平臺(tái)上發(fā)布。
7. 聯(lián)系方式
招標(biāo)人：華中光電技術(shù)研究所（武漢）
地址：武漢市江夏區(qū)陽光大道717號(hào)
郵編：430200
聯(lián)系人：侯經(jīng)理
電話：027-59002382
招標(biāo)代理機(jī)構(gòu)：中科信工程咨詢（北京）有限責(zé)任公司
地址：北京市海淀區(qū)金溝河路與采石北路十字路口東南角88號(hào)大樓
郵編： 100039
聯(lián)系人：郗女士
電話：029-89249895
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：王瑋
電話：029-89248368
傳真：010-88529153
電子郵件：zhaobiaobu@zonkex.com
2025年8月28日
