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8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機國際招標(2)

   2025-05-16 4
核心提示:蘇美達國際技術(shù)貿(mào)易有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及
蘇美達國際技術(shù)貿(mào)易有限公司受招標人委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標,于2025-05-15在中國國際招標網(wǎng)公告。本次招標采用傳統(tǒng)招標方式,現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1、招標條件
項目概況:設(shè)備名稱:多晶硅、硅刻蝕機
數(shù)量:1臺
設(shè)備原理及用途:
基本原理:在射頻電壓的作用下,溴化氫和氯氣產(chǎn)生的等離子體和多晶硅反應(yīng)生成四氯化硅和溴化硅,溴化氫同時有側(cè)壁淀積作用,防止側(cè)腐,生成物被抽出腔體,最終達到刻蝕的目的。
用途:本設(shè)備為全新設(shè)備,主要用于8英寸MEMS器件各種產(chǎn)品生產(chǎn)中多晶硅導線、硅晶圓標記和硅淺槽的刻蝕工藝。
資金到位或資金來源落實情況:已到位
項目已具備招標條件的說明:已具備
2、招標內(nèi)容
招標項目編號:0664-2540SUMECA83/03
招標項目名稱:8英寸MEMS晶圓生產(chǎn)線之多晶硅、硅刻蝕機
項目實施地點:中國安徽省
招標產(chǎn)品列表(主要設(shè)備):
序號 產(chǎn)品名稱 數(shù)量 簡要技術(shù)規(guī)格備注
1 多晶硅、硅刻蝕機 1 該設(shè)備主要由主控制系統(tǒng),全自動傳輸系統(tǒng),1個刻蝕工藝腔,尾氣處理系統(tǒng)以及相應(yīng)的射頻系統(tǒng),氣路系統(tǒng),制冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)等模塊組成。設(shè)備按照滿配來配置相關(guān)氣管、Cable、電磁閥、pμmp liner和gas liner等,便于未來增加工藝腔體(設(shè)備主體需要至少保留增加2個工藝腔的ai、ao、di/o、stepper等)。其他參數(shù)詳見第八章

3、投標人資格要求
投標人應(yīng)具備的資格或業(yè)績:①投標人如為境內(nèi)企業(yè),提供企業(yè)法人營業(yè)執(zhí)照或事業(yè)單位法人證書,如為境外企業(yè)提供企業(yè)注冊登記證。
②投標人可以是設(shè)備制造廠家,也可以是設(shè)備授權(quán)代理商,代理商需有設(shè)備原廠家的有效授權(quán)書。
③投標人開戶行開具的,出具日期在開標前三個月內(nèi)的資信證明原件或該原件的復印件。
④投標人需要具有履行合同所必需的設(shè)備技術(shù)支持和服務(wù)能力(提供相關(guān)證明材料或承諾書,承諾書格式自擬)。
⑤單位負責人授權(quán)書原件。
是否接受聯(lián)合體投標:不接受
未領(lǐng)購招標文件是否可以參加投標:不可以
4、招標文件的獲取
招標文件領(lǐng)購開始時間:2025-05-15
招標文件領(lǐng)購結(jié)束時間:2025-05-22
是否在線售賣標書:否
獲取招標文件方式:現(xiàn)場領(lǐng)購
招標文件領(lǐng)購地點:蘇美達大廈9樓西側(cè)(南京長江路198號)
招標文件售價:¥2000/$275
其他說明:每天9:00—11:30,14:00—17:30(北京時間,節(jié)假日除外)不購買招標文件的不得參加投標。聯(lián)系人郵箱:zhoucui@sumec.com.cn。
5、投標文件的遞交
投標截止時間(開標時間):2025-06-05 09:30
投標文件送達地點:安徽省蚌埠市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東海大道888號中國傳感谷A區(qū)L型綜合配套樓5層
開標地點:安徽省蚌埠市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東海大道888號中國傳感谷A區(qū)L型綜合配套樓5層
6、聯(lián)系方式
招標人:安徽華鑫微納集成電路有限公司
地址:安徽省蚌埠市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)東海大道888號中國傳感谷A區(qū)L型綜合配套樓5層
聯(lián)系人:何一
聯(lián)系方式:18851776509
招標代理機構(gòu):蘇美達國際技術(shù)貿(mào)易有限公司
地址:南京長江路198號11樓
聯(lián)系人:江岳峰/朱志云/周 翠
聯(lián)系方式:18551719296、025-84531056
7、匯款方式:
招標代理機構(gòu)開戶銀行(人民幣):
招標代理機構(gòu)開戶銀行(美元):
賬號(人民幣):
賬號(美元):

編輯:chinabidding.c
 
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