中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購

招標公告

1 招標條件

本招標項目中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購已審批，資金來源已落實。

2 項目概況與招標范圍

2.1 招標編號

CNSC-21401Y021729

2.2 招標項目名稱

中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購

2.3 招標項目概括

本項目對一套ICP刻蝕工藝系統進行非標研發，用于φ50~200mm尺寸規格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕。

2.4 招標范圍

ICP刻蝕工藝系統一套，系統需采用模塊化設計，包括工藝模塊、傳輸模塊和軟件智能操控，可實現對腔室內等離體密度的均勻控制，φ50~200mm尺寸規格的GaN、SiO2、SiNx材料晶圓的多功能刻蝕工藝要求。

交付成果包括：（1）ICP刻蝕工藝系統裝置實物；（2）相關技術文件、設計說明書、圖冊和報告等；（3）質保資料：質量計劃；出廠證明；合格證；裝箱單。

2.5 交貨地點

北京市中國原子能科學研究院院內指定位置。

2.6 交貨期

（1）合同簽訂后15個工作日內，提交系統設計圖冊及工藝開發方案。

（2）合同簽訂后90天內，完成系統硬件和工藝流程的源地驗收。

（3）合同簽訂后120天內，完成系統現場安裝調試、合格鑒定及交付驗收。

2.7 質量標準

質保期：

ICP刻蝕工藝系統的質保期為自項目驗收合格起2年；

質保期內廠商應免費保修，非人為因素引起的儀器損壞由廠商免費負責維修；并終身提供技術服務。

3 投標人資格要求

3.1 本次招標投標人應滿足以下要求：

（1）在中華人民共和國境內擁有合法經營權力，具有獨立的法人資格，符合國家有關規定，有資格和能力完成本招標項目的相關人員、設備、財務、技術能力。

（2）投標人應遵守中華人民共和國法律、法規以及相關行業的規定。

（3）財務狀況：投標人須有良好的銀行信用和商業信譽，不得處于破產、停業、財產被接收或凍結等任何不利于合同目的實現的情形，財務狀況良好。

（4）本項目不接受代理商投標。

（5）近三年投標人至少具有一個類似項目供貨業績，投標時須提供業績證明材料并蓋公章。

（6）本項目不接受聯合體投標。

3.2 本次招標不接受聯合體投標

4 招標文件的獲取

4.1 招標文件售價：本項目共1個包，招標文件售價人民幣包1:中國原子能科學研究院ICP工藝系統采購售價:500.00元整，售后款項不予退還。

招標代理機構收款 開戶 收款

未曾在中國電力招標采購網（www.gl880.com）上注冊會員的單位應先注冊。登錄成功后根據招標公告的相說明下載招標文件！

項目 聯系人：李工  
咨詢電話：010-51957458 
傳真：010-51957412 
手機：18811547188 
QQ:1211306049 
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來源：中國電力招標采購網?編輯：ecp.cnnc