項(xiàng)目編號(hào) : 0762-2440CBNB2021
公布日期 : 2024-08-06
受招標(biāo)人委托對(duì)下列產(chǎn)品及服務(wù)進(jìn)行國(guó)際公開競(jìng)爭(zhēng)性招標(biāo)，于2024年8月6日在 公告。本次招標(biāo)采用傳統(tǒng)招標(biāo)方式，現(xiàn)邀請(qǐng)合格投標(biāo)人參加投標(biāo)。
1. 招標(biāo)條件
項(xiàng)目概況：甬江實(shí)驗(yàn)室因發(fā)展需要，需采購(gòu)單片式化學(xué)清洗機(jī)1套、全自動(dòng)去膠剝離機(jī)1套、晶圓清洗機(jī)1套。
資金到位或資金來源落實(shí)情況：項(xiàng)目所需資金已經(jīng)落實(shí)。
項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件的說明：項(xiàng)目已具備招標(biāo)條件。
2. 招標(biāo)內(nèi)容：
招標(biāo)項(xiàng)目編號(hào)：0762-2440CBNB2021
招標(biāo)項(xiàng)目名稱：甬江實(shí)驗(yàn)室采購(gòu)單片式化學(xué)清洗機(jī)等設(shè)備項(xiàng)目（重招）
項(xiàng)目實(shí)施
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2
全自動(dòng)去膠剝離機(jī)
1套
主要用于微納器件Lift-off制備工藝中，用來去除多余的光刻膠及膠上的金屬，保留未被光刻膠覆蓋區(qū)域的金屬圖形。
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3
晶圓清洗機(jī)
1套
主要用于包括晶片爐管前后、化學(xué)氣相沉積（CVD）前后、物理氣相沉積（PVD）前后、化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）前后，以及晶圓背部的水洗工藝，同時(shí)用于對(duì)外來晶圓的高壓水洗、刷片清潔等水洗工藝。
/
*備注：投標(biāo)人必須對(duì)表中所有貨物進(jìn)行投標(biāo)，否則作無效標(biāo)處理。
3. 投標(biāo)人資格要求
投標(biāo)人應(yīng)具備的資格或業(yè)績(jī)：投標(biāo)人必須是投標(biāo)產(chǎn)品的制造商或投標(biāo)產(chǎn)品的制造商授權(quán)的代理商，如為代理商需提供制造商針對(duì)本項(xiàng)目的授權(quán)書；
是否接受聯(lián)合體投標(biāo)：不接受；
未領(lǐng)購(gòu)招標(biāo)文件是否可以參加投標(biāo)：不可以。
4.
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