| 公告信息： | |||
| 采購項目名稱 | 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng) | ||
| 品目 |
貨物/通用設(shè)備/機械設(shè)備/其他機械設(shè)備 |
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| 采購單位 | 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 | ||
| 行政區(qū)域 | 上海市 | 公告時間 | 2020年09月25日 22:10 |
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一、項目基本情況 預算金額：190.0000000 萬元（人民幣） 最高限價（如有）：190.0000000 萬元（人民幣） 采購需求： 二維IC工藝和三維MEMS加工而成的異質(zhì)集成的傳感器表面會有各種臺階、高深寬比的孔洞、槽等結(jié)構(gòu)，需要臺階覆蓋能力強的薄膜沉積技術(shù)。此外，由于材料晶格結(jié)構(gòu)、熱膨脹系數(shù)的差異，異質(zhì)集成的襯底不可避免的會出現(xiàn)翹曲，需要保形薄膜沉積技術(shù)；圓片級的異質(zhì)集成封裝涉及各種襯底，需要一種新的低溫鍵合技術(shù)。高深寬比納米薄膜沉積系統(tǒng)的主要功能為：（1）具有三維保形薄膜沉積能力，具有良好的臺階覆蓋能力，能在高深寬比的孔洞中進行薄膜沉積；（2）以沉積的納米薄膜為媒介能實現(xiàn)封裝蓋板和各種異質(zhì)集成襯底之間的低溫鍵合；（3）對200mm晶圓，薄膜厚度不均勻性小于±1%。具體詳見招標文件第八章。 合同履行期限：合同簽訂后6個月內(nèi)。 本項目( 不接受 )聯(lián)合體投標。 二、申請人的資格要求： 1.滿足《中華人民共和國政府采購法》第二十二條規(guī)定； 2.落實政府采購政策需滿足的資格要求： 節(jié)約能源、保護環(huán)境、扶持不發(fā)達地區(qū)和少數(shù)民族地區(qū)、促進中小企業(yè)發(fā)展、支持監(jiān)獄、戒毒企業(yè)發(fā)展、促進殘疾人就業(yè)、優(yōu)先采購貧困地區(qū)農(nóng)副產(chǎn)品等政府采購政策。 3.本項目的特定資格要求：1）近三年內(nèi)（本項目招標截止期前）被“信用中國”網(wǎng)站列入失信被執(zhí)行人和重大稅收違法案件當事人名單的、被“中國政府招標網(wǎng)”網(wǎng)站列入政府招標嚴重違法失信行為記錄名單（處罰期限尚未屆滿的），不得參與本項目；2）單位負責人為同一人或者存在控股、管理關(guān)系的不同單位，不得參加同一標包投標或者未劃分標包的同一項目。 三、 （北京時間，法定節(jié)假日除外） 六、其他補充事宜 現(xiàn)場購買：有意向的投標人可攜帶報名表（詳見招標公告附件）、營業(yè)執(zhí)照復印件（加蓋公章）、法人代表授權(quán)書原件、被授權(quán)代表身份證（復印件加蓋公章））至上海市共和新路1301號C座108室進行報名 網(wǎng)上購買：有意向的投標人將報名表（詳見招標公告附件）、營業(yè)執(zhí)照掃描件、法定代表人（單位負責人）授權(quán)委托書原件、委托代理人身份證明（復印件加蓋公章）的掃描件和購買標書登記表（詳見附件） 招標文件售價：每包件售價人民幣 500 元（招標文件售后不退）。 注：我公司只接受公司轉(zhuǎn)賬，不接受個人轉(zhuǎn)賬。 開戶名：上海中招招標 銀行帳號：0208014210004789 摘要：STC20A280標書費或投標保證金 七、對本次招標提出詢問，請按以下方式聯(lián)系。 1.采購人信息 名 稱：中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所 2.采購代理機構(gòu)信息 名 稱：上海中招招標 地 3.項目 電 沒有在 中國電力招標采購網(wǎng)（www.gl880.com）上注冊會員的單位應先點擊注冊。登錄成功后根據(jù)招標公告的相應說明獲取招標文件！ 聯(lián)系人：李楊 打賞 更多>同類資訊
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